1、控制系統
1）操作界面：7英寸電阻觸摸屏操作界面，支持多種工作方式。
2）程序控制：可編程，總共有20個程序，每個程序有3個清潔步驟
2、反應腔體
1）腔體材質：圓柱形石英玻璃艙。
2）腔體尺寸：內徑110毫米，外徑120毫米，深度280毫米，壁厚：5毫米。
3）前觀測窗：前方開口，5毫米厚石英玻璃可視窗口，可觀測內腔等離子狀態，并帶有防真空泄漏和避免高壓的聯鎖裝置，有效保護操作的安全性；
3、射頻電源
1）射頻頻率：13.56MHz
2）射頻功率：標配0~75W；可選配0~150W。從0瓦到150瓦之間以1瓦間距連續可調，自動阻抗匹配。
3）射頻輸出可以工作在脈沖方式，脈沖比可以從1/255調到255/255（連續輸出）。
4、等離子源
1）等離子強度探測器實時測量等離子源強度。
2）電阻耦合電離方式。
3）外置電極設計，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。
5、氣體控制
1）氣路控制：標配一路MFC；可選配三路MFC；
2）質量流量計可以在0~100sccm之間控制氣體流量；
3）一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。
4）自動放氣流程控制可以保護真空泵不受影響。
5）高性能氣壓計可以測量1e-4 Torr到大氣壓之間的氣壓。
6）6mm氣體接口。
6、真空系統
1）KF25法蘭接口用來連接真空泵。
2）真空要求：抽速：>1.7m3/h；
3）最低氣壓：
功能特色 |
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